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对超大规模集成电路有用的微型铝等离子体刻蚀技术研制成功
对超大规模集成电路有用的微型铝等离子体刻蚀技术研制成功
来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wugailin
【摘 要】
:
<正> 日本计算机综合研究所(CDL)最近研制出对超大规模集成电路有用的用CCl4气体的铝等离子体刻蚀技术,并在八月举行的1977年度电子通信学会半导体、晶体管研究会上发表。在大
【出 处】
:
压电与声光
【发表日期】
:
1978年02期
【关键词】
:
铝等离子体
大规模集成电路
刻蚀技术
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<正> 日本计算机综合研究所(CDL)最近研制出对超大规模集成电路有用的用CCl
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气体的铝等离子体刻蚀技术,并在八月举行的1977年度电子通信学会半导体、晶体管研究会上发表。在大规模集成电路中,铝是广泛地用作内部配
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