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本文介绍了基于氦质谱检漏仪的比较法标准漏孔校准装置和标准漏孔校准斱法研究。该装置实现了标准漏孔的全自动校准。装置通过软件控制气动阀门的动作、数据的自动采集、计算和记录，幵最终输出原始记录。以下对该系统的工作原理、步骤、测试实例以及校准获得不确定度分量进行了简单阐述。
基于检漏仪的全自动真空氦漏孔校准方法研究
【摘 要】
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本文介绍了基于氦质谱检漏仪的比较法标准漏孔校准装置和标准漏孔校准斱法研究。该装置实现了标准漏孔的全自动校准。装置通过软件控制气动阀门的动作、数据的自动采集、
【机 构】
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辽宁省计量科学研究院沈阳中国计量科学研究院北京上海东贝真空设备有限公司上海
【出 处】
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中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十八届年会暨中国计量测试学会真空计量专业委员会第十三届年会
【发表日期】
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2015年10期
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