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离子束增强沉积制备碳化硼及C-B-Ti化合物薄膜的结构与力学性能的研究
离子束增强沉积制备碳化硼及C-B-Ti化合物薄膜的结构与力学性能的研究
来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zyhpeter2011
【摘 要】
:
利用离子束共混制备具有高硬度、高熔点及良好化学稳定性的C,B化合物对于彩和离子束增强沉积技术进行材料表面改性有重要意义。利用对烧结碳化硼合物靶进行溅射沉积,同时利用不同
【作 者】
:
王宇
尤大纬
【出 处】
:
真空科学与技术
【发表日期】
:
1995年2期
【关键词】
:
离子束增强
沉积
硬膜
碳化硼
薄膜
结构
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利用离子束共混制备具有高硬度、高熔点及良好化学稳定性的C,B化合物对于彩和离子束增强沉积技术进行材料表面改性有重要意义。利用对烧结碳化硼合物靶进行溅射沉积,同时利用不同能量的Ar^+进行轰击的方法,制备了碳化硼及碳、硼、钛混合膜膜,并对它们的结构与力学性能进行了研究。
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