Preparation of Double-sided Nanostructure Based on Soft-nanoimprinting Lithography

来源 :微电子制造学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：fenghaiweiran

【摘要】

：

Double-sided nanostructure has more excellent properties in high efficiency,high yield,and high capability devices,which becomes the attention spots in nanofabr

【作者】

：

Man Zhang Qiling Deng Hui Pang

【机构】

：

InstituteofOpticsandElectronics

【出处】

：

微电子制造学报

【发表日期】

：

2018年2期

【关键词】

：

Double-sided NANOSTRUCTURE ELASTIC SUBSTRATE soft-nanoimprinting LITHOGRAPHY met

【基金项目】

：

the National Nature Science Foundation(No.61605211)of China,Science and Technology Support Program of Sichuan province(No.2016RZ0067).

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Double-sided nanostructure has more excellent properties in high efficiency,high yield,and high capability devices,which becomes the attention spots in nanofabrication technology.We proposed a very simple method to fabricate the double-sided nanostructure

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