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随着集成电路技术的不断发展,对生产所需纯水水质要求更高,本文系统介绍了超大规模集成电路生产中的超纯水水质指标,典型制备流程。输送管材以及超纯水制备系统的发展。
超大规模集成电路生产中的超纯水系统
【摘 要】
：
随着集成电路技术的不断发展,对生产所需纯水水质要求更高,本文系统介绍了超大规模集成电路生产中的超纯水水质指标,典型制备流程。输送管材以及超纯水制备系统的发展。
【机 构】
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中国电子工程设计院
【出 处】
：
洁净与空调技术
【发表日期】
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1999年03期
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