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介绍一种应用于晶圆传输机械手的开放式运动控制器,它由DSP（TMS320F2812）、CPLD和PC/104嵌入式工控机构成,并将运动控制器的系统结构按功能分为几个模块,同时讨论了各个模块的硬件设计及工作原理。
基于DSP的机械手开放式运动控制器设计
【摘 要】
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介绍一种应用于晶圆传输机械手的开放式运动控制器,它由DSP（TMS320F2812）、CPLD和PC/104嵌入式工控机构成,并将运动控制器的系统结构按功能分为几个模块,同时讨论了各个模块的
【机 构】
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上海交通大学自动化系
【出 处】
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齐齐哈尔大学学报：自然科学版
【发表日期】
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2011年3期
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