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针对微细电化学加工控制中的实时性要求、间隙状态监控以及断/短路检测等问题,提出了一种适于微孔电化学加工的模糊PID控制方法,实现了基于32位嵌入式处理器的微孔电化学加工控制系统,实现了相关的控制结构、精密定位控制、加工控制以及高速通信。测试结果表明:系统误差小于0.2μm,调节时间在2ms以内,能够满足微孔电化学加工的工艺要求。