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微电子设备多为高、精设备,微电子设备服务工程师可从设备的备件储备,零部件的修复与替换,设备软件备份,设备的工艺应用,维修经验交流等几个方面重点着手,做好微电子设备的维修增值。
微电子设备的维修保障工作
【摘 要】
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微电子设备多为高、精设备,微电子设备服务工程师可从设备的备件储备,零部件的修复与替换,设备软件备份,设备的工艺应用,维修经验交流等几个方面重点着手,做好微电子设备的维
【机 构】
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中国电子科技集团公司第29研究所机动处
【出 处】
：
设备管理与维修
【发表日期】
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2011年S1期
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