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悬臂梁微尖端器件的制备与应用研究进展
悬臂梁微尖端器件的制备与应用研究进展
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhoumingjiang123
【摘 要】
:
随着扫描隧道显微镜(SPM)家族的成熟,悬臂梁微尖端MEMS器件的广泛应用前景也逐渐清晰.对悬臂梁微尖端MEMS器件的种类、微尖端制作方法以及现今的研究应用方向进行了论述,最后
【作 者】
:
焦斌斌
陈大鹏
叶甜春
欧毅
董立军
杨清华
【机 构】
:
中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2005年1期
【关键词】
:
扫描隧道显微镜
MEMS
微尖端
悬臂梁
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随着扫描隧道显微镜(SPM)家族的成熟,悬臂梁微尖端MEMS器件的广泛应用前景也逐渐清晰.对悬臂梁微尖端MEMS器件的种类、微尖端制作方法以及现今的研究应用方向进行了论述,最后指出了悬臂梁微尖端MEMS器件向着大规模阵列化发展的方向.
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