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该文总结了双波长激光干涉仪研制过程中减小量块中心长度测量不确定度的几项重要措施,该干涉仪对量块中心长度的测量不确定度达到（0.02±0.2L）μm,并已成功应用于高等级量块的自动测量。
双波长激光量块干涉仪减小量块中心长度测量不确定度的措施
【摘 要】
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该文总结了双波长激光干涉仪研制过程中减小量块中心长度测量不确定度的几项重要措施,该干涉仪对量块中心长度的测量不确定度达到（0.02±0.2L）μm,并已成功应用于高等级量
【机 构】
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上海市计量测试技术研究院,南京理工大学电光学院
【出 处】
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上海计量测试
【发表日期】
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2010年6期
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