【摘 要】
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在我国进入 21 世纪以来,我国的综合国力显著加强,随着材料、医学、生物等学科的不断发展及科学技术的不断进步,扫描电子显微镜(SEM)的装置和质量有了较大的改进,分辨率和放
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在我国进入 21 世纪以来,我国的综合国力显著加强,随着材料、医学、生物等学科的不断发展及科学技术的不断进步,扫描电子显微镜(SEM)的装置和质量有了较大的改进,分辨率和放大倍数也越来越高,功能越来越齐全。数字化扫描电子显微镜的出现,使扫描电子显微镜完全由计算机控制,操作更加简单、方便。扫描电子显微镜主要用于各种材料的微观分析和成分分析,并可用多种物理信号对材料样品进行综合分析,且具有可以直接观察较大试样、放大倍数范围宽和景深大等特点,因此,在科研、工业产品开发、质量管理及生产在线检查方面发挥着重要的作用
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