【摘 要】
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研究了一种主要应用于碰撞测试领域的硅微机械高性能压阻式加速度计,量程范围为2 000gn.为满足技术性能要求,加速度计采用一种三梁-质量块结合梳齿阻尼器的新颖结构,从而可以
【机 构】
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国防科技大学机电工程与自动化学院,中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
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研究了一种主要应用于碰撞测试领域的硅微机械高性能压阻式加速度计,量程范围为2 000gn.为满足技术性能要求,加速度计采用一种三梁-质量块结合梳齿阻尼器的新颖结构,从而可以同时具有高灵敏度及高动态特性(包括高谐振频率及精确阻尼控制).这种加速度计采用n型(100)普通硅片制作,主要工艺过程包括双面ICP深刻蚀和压阻集成工艺.振动台测试结果表明,加速度计的灵敏度为0.11 mV/gn/5 V,谐振频率为31 kHz,灵敏度±5%变化下平坦带宽大于5 kHz.采用落杆测试法测试了加速度计的冲击响应及0~2 000gn满量程范围内的非线性度.封装后的加速度计承受15 000gn的冲击测试后没有受到损坏.
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