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四探针技术是测量半导体电阻率的专用测量手段。介绍四探针探头的测试原理,在测试中影响四探针头性能的几个问题：弹簧片的结构存在不足,锥头与铜套配对容易错位,测试架连接件结构对测量的不良影响,以及检测探头参数的方法繁琐等,提出应对的改进方法。
关于改进四探針头的几点建议
【摘 要】
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四探针技术是测量半导体电阻率的专用测量手段。介绍四探针探头的测试原理,在测试中影响四探针头性能的几个问题：弹簧片的结构存在不足,锥头与铜套配对容易错位,测试架连接件
【机 构】
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广州半导体材料研究所
【出 处】
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河南科技
【发表日期】
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2013年11期
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