一体化厚膜高分子温湿度传感器的研制

来源 :仪表技术与传感器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:initialD2004
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一体化温湿度传感器是采用厚膜工艺将温度传感器和湿度传感器制作在同一Al2O3陶瓷基片上而形成一个集成一体化的多功能传感器。湿度传感器采用性能优良的高分子聚合物湿敏电阻,温度传感器采用具有NTC特性的MnCoNi系氧化物厚膜热敏电阻。它不仅可以将温度和湿度这两个参数同时进行测量,而且给湿度传感器的温度补偿带来了极大的方便。 Integrated temperature and humidity sensor is the thick film technology temperature sensor and humidity sensor fabricated on the same Al2O3 ceramic substrate to form an integrated multi-function sensor. Moisture sensors using high-performance polymer humidity resistance, temperature sensors using NTC characteristics of the MnCoNi oxide thick film thermistor. It not only can measure the two parameters of temperature and humidity at the same time, but also brings great convenience to the temperature compensation of humidity sensor.
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