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扫描电子显微镜是一种高端的电子光学仪器,广泛用于材料、生物、医学、冶金、化学和半导体等研究领域。它主要利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态,即用极狭窄的电子束去扫描样品,通过电子束与样品的相互作用产生各种效应。扫描电镜在科研工作和工业部门里发挥着基础性作用,材料微观结构的观测离不开这一'微观相机'。