切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
适用于沉积工艺的真空技术
适用于沉积工艺的真空技术
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yymmttjjjj
【摘 要】
:
半导体生产中的薄膜沉积工艺通常对真空泵的要求很严格.在该工艺中高故障和停机现象较为普遍.iH真空泵是特别为应付恶劣的薄膜工艺环境所设计.阐述了iH系列在干泵在LPCVK氮化
【作 者】
:
KirelTang
WANGYing-pei
MikeCze
【机 构】
:
BOCEdwards,BOCEdwards,BOCEdwards
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2004年4期
【关键词】
:
半导体工艺
薄膜沉积
iH真空泵
干泵
LPCVD氮化硅工艺
Deposition:Process:Harsh pumping: Dry pump
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
半导体生产中的薄膜沉积工艺通常对真空泵的要求很严格.在该工艺中高故障和停机现象较为普遍.iH真空泵是特别为应付恶劣的薄膜工艺环境所设计.阐述了iH系列在干泵在LPCVK氮化硅工艺应用中的成功表现.
其他文献
2005年中国集成电路市场特点
计算机及其消费电子类整机产品带动中国集成电路市场快速增长2005年中国集成电路市场最大的特点就是计算机及其消费电子类整机产品带动中国集成电路市场快速增长。中国已经是
期刊
市场特点
集成电路
中国
整机产品
电子产品
同比增长
LCD显示器
生产基地
平板电视
数码相机
基于CNOP方法的台风目标观测研究进展
简要但系统地介绍了条件非线性最优扰动(CNOP)方法在台风目标观测方面的研究进展。CNOP方法是线性奇异向量(SV)方法在非线性领域的一个拓展。在台风目标观测的研究中,该方法
期刊
条件非线性最优扰动
CNOP
目标观测
台风预报
conditional nonlinear optimal perturbation(CNOP)
target
CESI采用泰克设备,在中国国内独家测试数字电视产品
泰克公司日前宣布,中国电子技术标准化研究所(CESI)已决定在其数字电视测试和认证中心中优先选用泰克公司的测试仪器。这样,中国电子技术标准化研究所就可以使用泰克公司的新型测
期刊
泰克公司
测试仪器
测试设备
电视产品
中国
国内
数字电视标准
技术标准化
认证中心
认证服务
0Cr18Ni10Ti不锈钢导向管固溶处理设备和工艺研究
300兆瓦燃料组件控制棒用0Cr18Ni10Ti不锈钢导向管及通量测量管工艺要求在轧制成12.91 mm×0.5 mm规格后,进行固溶处理,需要控制加热温度和时间。但是由于系统不能直接
期刊
0CR18NI10TI
固溶处理
工艺曲线
机械性能
OCr1SNilOTi
solution treatment
process curve
mecha
集合四维变分资料同化研究进展
背景误差协方差矩阵的精确定义是构建高水平资料同化系统的先决条件。传统四维变分资料同化(4D-Var)方法将观测资料处理转化成以动力模式为约束的泛函极小化问题,通过调整控制
期刊
背景误差协方差矩阵
集合四维变分资料同化
扰动
流依赖
background error covariance
ensemble
four-dimensio
《风湿病与关节炎》创刊:贺词与寄语
<正>~~
期刊
全球农业研发:50年的改变
美国学者研究了过去50年全球农业研发投入的改变,给出全球按照富裕程度划分后投入分布情况的改变。研究还发现私人公司的投入在中高收入国家所占比例都有提高,而贫穷和富裕国家
期刊
研发
农业
私人公司
国家投入
收入
对新疆油页岩干馏工艺选择的模块化及其结果对比分析
利用结构化软件设计方法及程序模块化原理,结合油页岩的理化特性参数与干馏工艺的基础,借以visual Basic6.0为平台开发了不同干馏工艺设计软件。本文以新疆吉木萨尔县油页岩基础
期刊
油页岩
干馏工艺
模块化
oil shale
retorting process
modularization
基于HNC的液压同步控制实验台构建
针对大型液压机液压系统的多液压缸同步运动问题,提出了使用HNC实现精确同步控制的解决方案.阐述了液压实验台控制原理以及其硬件、软件构成.该方案控制系统实现了液压实验平
期刊
HNC
液压同步控制
闭环位置控制
HNC
hydraulic synchronization control
closed-loop position c
基于几何参数的桥式起重机主梁优化
本文结合有限元法及优化设计方法,以桥式起重机主梁为研究对象,在有限元分析的基础上,建立了主梁结构的优化数学模型。对主梁几何模型进行参数化,采用二次开发的方法,实现整个有限
期刊
桥式起重机
主梁
有限元方法
参数化
bridge crane
girder
finite element method
parameterize
与本文相关的学术论文