【摘 要】
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OMV法非有意掺杂外延GaAs的载流子浓度受外延气氛中As/Ga值的控制。本研究中发现: As/Ga值等于十四左右, N型外延GaAs的迁移率有一个最大值,相应的载流子浓度较低。掺硫N型外
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OMV法非有意掺杂外延GaAs的载流子浓度受外延气氛中As/Ga值的控制。本研究中发现: As/Ga值等于十四左右, N型外延GaAs的迁移率有一个最大值,相应的载流子浓度较低。掺硫N型外延GaAs的载流子浓度随As/Ga值的增加而下降。 本文分析了OMV法的外延机构,提出了质量输运控制下的界面反应区部分反应热力学平衡模型,从而导出了Ⅵ族、Ⅱ族以及Ⅳ族元素的掺杂关系式。应用这些关系式能满意地解释OMV法外延GaAs的载流子浓度与As/Ga值的关系,并能说明其他工艺条件(外延温度、生长速率、掺杂量等)对外延GaAs载流子浓度的影响。 研究结果已经应用于GaAs FET材料的制备工艺,因而掺S外延GaAs的载流子浓度得到了有效的控制。
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