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简述了椭偏法测量薄膜厚度的物理原理,分析了其系统误差。
薄膜测量的椭偏仪法
【摘 要】
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简述了椭偏法测量薄膜厚度的物理原理,分析了其系统误差。
【机 构】
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唐山师范学院国有资产管理处,河北师范大学数学系
【出 处】
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唐山师范学院学报
【发表日期】
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2002年05期
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