【摘 要】
：
将以光刻胶作为有机前驱物的热解成碳工艺与厚胶光刻工艺结合后,形成一种新的用于制备碳微结构的"C-MEMS(carbon-MEMS)"工艺,它流程简单、成本低、可重复性强且结构设计灵活.
【机 构】
：
华中科技大学,武汉光电国家试验室,武汉光电国家试验室,武汉光电国家试验室,武汉光电国家试验室
论文部分内容阅读
将以光刻胶作为有机前驱物的热解成碳工艺与厚胶光刻工艺结合后,形成一种新的用于制备碳微结构的"C-MEMS(carbon-MEMS)"工艺,它流程简单、成本低、可重复性强且结构设计灵活.该工艺制备出的碳微结构具有较高深宽比(约为10:1)、良好的导电、导热和机械性能、优良的生物兼容性及化学惰性.综述了其发展过程和研究近况,介绍了该工艺的流程、可重复制备的典型结构以及一些特殊结构如碳纳米纤维等,阐明了其在三维微电池和介电电泳生物芯片等多个领域的应用,预见了该工艺可作为连接纳米、微米级结构的
其他文献
随着我国互联网金融的迅猛发展,互联网征信的需求也日趋多元化。本文从互联网金融背景下现有征信机构发展的制约因素入手,分析当前征信机构面对互联网金融市场上的发展阻力,
红河新闻传媒集团是目前全国仅有的4个城市跨媒体整合的新闻（文化）单位之一。在欠发达地区建立跨媒体集团的意义重大，其运行过程中企业与事业的矛盾突出，而地方党委和政府的支持
“二孩政策”的推行,使国内母婴市场呈现一片红海,为少儿频道涉足母婴产业提供了良好的市场环境。少儿频道可从打造母婴相关品牌节目、母婴社区在线平台、母婴电商APP,以及拓
近年来我国经济持续增长,不仅得力于我国经济市场的稳定发展,也与金融体制改革及货币政策密切相关。金融体制的改革正进行得如火如荼,货币政策也是逐年根据经济发展而转变,目
新闻是县级电视台立台强台的基础和根本。办好新闻节目,提升宣传水平,是新闻媒体＂喉舌＂功能的重中之重。近年来,张家港电视台坚持＂新闻立台＂的理念,加大新闻改革力度,配足力量,做
中国媒介生态环境正在与外界的碰撞、融合中变得复杂而充满活力，传媒机构不断评估衡量自身的行业地位和发展状态，以正确分析竞争对手和寻找合作伙伴。从合作赖以实现的契机看，传
为了提高行政办事效率,降低资金使用成本,规避资金风险,更好地服务于教学科研,高校引入招标代理机构已经成为常态趋势。分析研究招标代理机理及其社会角色,探索规范化管理策
非语言交际包括四个手段：体态语，副语言，客体语，环境语。运用好“非语言表达”，有助于表情达意和更好地传递信息。
应用天山编目1051组粒雪线资料,经过数据转化处理,将离散性样点归并为规则的网格分布,进一步插值加密提高拟合程度,绘制出与实际资料相吻合的粒雪线变化趋势图.从图中可以看出,天山粒雪线趋势主要有以下几个特征:(1)趋势面脊线(主轴线)纬向延仲;(2)趋势面高程变化经向大于纬向;(3)经向变化中速率最大的是汗腾格里山;(4)趋势面的最高点在托木尔峰南坡,最低点在巩乃斯河谷上游。