MOCVD系统中的在位实时监测──自动光度椭偏仪的应用

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提出了一种用于MOCVD系统在位实时监测的快速、自动、旋转检偏式激光椭偏仪(RAE)。这种椭偏仪可由常规手动消光椭偏仪改装而成。阐述了它的工作原理、数据采集方法和数据处理程序。最后讨论了与MOCVD生长过程的在位实时监测有关的问题。如光学窗口、反应器管壁沉积物及其它误差来源。 A fast, automatic and rotationally controlled laser ellipsometer (RAE) for real-time monitoring in-position of MOCVD system is proposed. This ellipsometer can be retrofitted with a conventional manual extinction ellipsometer. Described its working principle, data acquisition methods and data processing procedures. Finally, the issues related to in-situ monitoring of the MOCVD growth process are discussed. Such as optical windows, reactor wall deposits and other sources of error.
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