【摘 要】
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对用电子显微镜测量薄膜厚度的三种方法：双束衍射法、污斑法、污线法进行了实验及比较分析。结果表明：污线法操作简单、使用方便、定位准确、测量误差小，是一种较为理想的测厚方
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对用电子显微镜测量薄膜厚度的三种方法：双束衍射法、污斑法、污线法进行了实验及比较分析。结果表明：污线法操作简单、使用方便、定位准确、测量误差小，是一种较为理想的测厚方法。
Three methods for measuring film thickness by electron microscopy: double beam diffraction method, stain method, and stain method were tested and comparatively analyzed. The results show that the method is simple, easy to use, accurate positioning and small measurement error. It is an ideal thickness measurement method.
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