【摘 要】
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提出了以激光为光源的微缝宽度测量系统的新方法。从理论和实验上对几种影响激光衍射法测量微缝宽度的因素进行了研究,并以正交CCD组作为接收元件,改进了测量系统。与传统测
【机 构】
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海军航空工程学院青岛分院航空侦察教研室,海军航空工程学院青岛分院航空侦察教研室 山东青岛266041,山东青岛266041
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提出了以激光为光源的微缝宽度测量系统的新方法。从理论和实验上对几种影响激光衍射法测量微缝宽度的因素进行了研究,并以正交CCD组作为接收元件,改进了测量系统。与传统测量方法相比,不再有测量距离的不确定及CCD定位等问题。测量过程实现了非接触、高精度在线测量,系统性能稳定。
A new method to measure the width of micro slit with laser as light source is proposed. Several factors influencing the slit width of laser diffraction are studied theoretically and experimentally, and the orthogonal CCD system is used as the receiving element to improve the measuring system. Compared with the traditional measurement methods, there is no longer the uncertainty of the measurement distance and CCD positioning and other issues. Measurement process to achieve non-contact, high-precision online measurement, system performance and stability.
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