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统计过程控制（SPC）技术是集生产技术与科学管理于一体的现代工艺质量管理技术。在企业生产过程中，SPC 是生产过程控制的有效手段和工具。SPC 作为一种过程控制方法，运用数理统计概率论的原理，应用统计方法对过程中的各个阶段进行监控，可及时发现生产过程中的异常情况。
SPC研究及其在芯片制造工艺中的应用
【摘 要】
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统计过程控制（SPC）技术是集生产技术与科学管理于一体的现代工艺质量管理技术。在企业生产过程中，SPC 是生产过程控制的有效手段和工具。SPC 作为一种过程控制方法，运用数理统计
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十七研究所
【出 处】
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微处理机
【发表日期】
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2015年1期
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