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本文通过对近几年来各类微型泵研究的比较，从微型泵设计的关键技术——驱动方式的角度进行考虑，着重以压电致动泵、热气致动泵、电磁致动泵和记忆合金振膜泵等微型泵进行讨论。
微型泵的驱动技术
【摘 要】
：
本文通过对近几年来各类微型泵研究的比较，从微型泵设计的关键技术——驱动方式的角度进行考虑，着重以压电致动泵、热气致动泵、电磁致动泵和记忆合金振膜泵等微型泵进行讨论。
【机 构】
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东南大学微电子中心
【出 处】
：
电子器件
【发表日期】
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2001年1期
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