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在详细介绍黑硅材料的形成机理，包括超过固溶度的S原子引起的高红外吸收基础上，介绍了黑硅材料在光电探测研究领域的应用，并指出黑硅光电探测器目前面临如何平衡退火消除缺陷及由此带来的红外吸收下降的问题，但黑硅探测器件的增益机制问题仍然不清楚，有待解决．
黑硅材料在光电探测研究领域的前景及挑战
【摘 要】
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在详细介绍黑硅材料的形成机理，包括超过固溶度的S原子引起的高红外吸收基础上，介绍了黑硅材料在光电探测研究领域的应用，并指出黑硅光电探测器目前面临如何平衡退火消除缺陷及
【机 构】
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内江师范学院工程技术学院
【出 处】
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宜宾学院学报
【发表日期】
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2013年6期
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