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微致动技术是微型机电系统(MEMS)设计制造的重要技术基础。本论文围绕微型热致动器的研制开发,对热致动方式进行较为深入研究,利用硅微细加工工艺制造出多种微型热致动器,并进行了理论分析和实验测试。
微型热致动器研究
【摘 要】
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微致动技术是微型机电系统(MEMS)设计制造的重要技术基础。本论文围绕微型热致动器的研制开发,对热致动方式进行较为深入研究,利用硅微细加工工艺制造出多种微型热致动器,并
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系!北京100084;
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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国家自然科学重点基金资助项目! ( 5 92 3 5 111)
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