TiO<sub>2</sub>/Cu/TiO<sub>2</sub>/PET透明热反射膜光学特性和制备工艺研究

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本文叙述用平面磁控溅射法在聚酯薄膜上镀制TiO<sub>2</sub>/Cu/TiO<sub>2</sub>透明热反射膜系,研究了膜厚的确定方法以及克服Cu膜氧化和岛状结构的工艺措施,获得TiO<sub>2</sub>/Cu/TiO<sub>2</sub>/PET膜系的可见透射率为65%,红外反射率为92%,近红外透射率为25%。
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