【摘 要】
：
采用低压化学气相沉积方法，通过改变工艺气体配比，在硅衬底上生长低应力氮化硅薄膜。用应力仪、椭偏仪对生成的氮化硅薄膜的应力、生长速率、均匀性、折射率及腐蚀速率等进行实验。实验结果表明：低应力氮化硅薄膜制备的关键是增大DCS和NH3的配比，配比越大，生成的氮化硅薄膜应力越小，折射率越大，耐酸腐蚀能力越强，致密性越好；但随着配比增大，生成的氮化硅薄膜均匀性变差。选择合适的工艺气体配比可在硅衬底上制备出高
论文部分内容阅读
采用低压化学气相沉积方法，通过改变工艺气体配比，在硅衬底上生长低应力氮化硅薄膜。用应力仪、椭偏仪对生成的氮化硅薄膜的应力、生长速率、均匀性、折射率及腐蚀速率等进行实验。实验结果表明：低应力氮化硅薄膜制备的关键是增大DCS和NH3的配比，配比越大，生成的氮化硅薄膜应力越小，折射率越大，耐酸腐蚀能力越强，致密性越好；但随着配比增大，生成的氮化硅薄膜均匀性变差。选择合适的工艺气体配比可在硅衬底上制备出高质量的低应力氮化硅薄膜。
其他文献
目的 探讨以IIFAR为基础的信息支持对口腔颌面部恶性肿瘤（OMMs）术后患者心理韧性及应对方式的影响。方法 选取2021年1月～2021年12月本院收治的96例OMMs患者作为研究对象，采用随机数字表法将其分为观察组（48例）和对照组（48例）。对照组采用常规护理模式，观察组在对照组的基础上采用以IIFAR为基础的信息支持的护理干预，比较两组干预前和干预后的中文版14项心理韧性量表（RS-14）
人类的高速发展导致陆地资源被大规模开采,尤其是不可再生资源的大肆消耗,促使人与自然之间的矛盾日益加剧,人们的目光也逐渐投向了海洋和深海,对深海与深渊（6000m-11000m）区域的探索和开发利用业已逼在眉捷。各类型深海潜水器等装备的研制也成为了当今世界各国竞相角逐的热点,我国也随着“蛟龙”号的成功研制进入了高速发展时期。观察窗作为载人潜水器和设备等观察认知海底世界的唯一媒介,既作为潜水器重要的承
当前以成都、重庆为“双核”的成渝地区双城经济圈的经济发展工作已上升至国家战略水平,承担了引领西部乃至全国经济高质量发展的历史使命。成渝发展主轴在双城经济圈发展中起着尤其重要的衔接带动作用,但也面临着一些亟待解决的挑战,这些挑战的根源在于经济效率不够高、资源配置能力不够强,使主轴空间辐射力受限。故本文选取成渝地区双城经济圈内7个主轴城市和12个其他主要城市在2006-2020年的面板数据,先圈后轴地
2020年始伊,新冠疫情的全球蔓延,服务机器人在本次疫情中发挥了其特殊的作用。送餐机器人、消毒机器人和检测机器人等各种类别的服务机器人在本次疫情中所展现的优秀服务能力,让人们看到了它们巨大的经济价值和社会价值,对服务机器人行业的快速发展起到了强有力的促进作用。服务机器人的发展趋势是进入大众生活的各个角落,以家庭为单位的服务机器人会逐渐普及。居家环境一般都比较紧凑,空间有限,基于此本文设计了一款可伸
随着全球化的不断发展和消费结构的升级,孩子的教育成为中国家长愈发重视的话题。家长开始重视培养孩子的外语能力以及全球意识,包容各种国际元素的教育产品逐步流行。海外游学作为帮助学生开阔视野,提高语言能力,建立世界观念的优秀教育项目,既保留旅游项目的趣味,又深化国际化的学习体验,因此深受中国学生和家长的青睐。近年来中国政府和教育部门对游学的政策支持也大力促进了海外游学市场的发展。本文以新加坡A旅游公司面
近年来,国家高度重视创新创业的发展规划,制定出许多关于“双创”的政策措施,政策红利不断推动民间企业发展各种类型的众创空间、加速器、新型孵化器、创业基地,形成了“大众创业、万众创新”的良好局面。众创空间作为新形态的孵化器,是双创政策的落实与承接单位。但是,近年来众创空间发展过程并不顺利,厦门各类众创空间的发展过程,经历了兴起、白热化、停滞、升级转型的过程,许多众创空间已经在消亡边缘。本文以厦门A众创
阐述测量不确定度的特点、分类，电压互感器测量不确定度评定，测量方法和数学模型，标准不确定度分量中的不确定度的评定、合成不确定度评定、扩展不确定评定、评定结果的确认。
青鱼（Mylopharyngodon piceus）是我国重要的淡水养殖鱼类。随着生态环境的改变及养殖方式的转变,青鱼野生群体的区域分布发生了很大变化,青鱼野生群体数量也在减少。此外,青鱼苗种在生产过程中,生产单位不重视种质资源的管理,也造成了青鱼种质资源生长速度减慢,抗病性能下降、肉质营养价值降低等种质退化现象。为保证青鱼的养殖业健康、稳定发展,迫切需要对青鱼进行良种选育和遗传改良,培育出生长性
活性污泥法是目前城市污水厂最常见的污染物去除工艺,但此法存在污泥龄矛盾、碳源竞争、硝酸盐及DO的干扰等问题。反硝化除磷（Denitrification phosphorus removal,简称DPR）工艺中可通过“一碳两用”,节省30%的曝气能耗、50%的碳源消耗及污泥产量。本课题通过研究不同影响因素对DPR系统长期运行的影响,为低C/N条件下DPR稳定运行及温室气体N2O减排提供理论支撑,并采
企业通过制定一系列激励措施及政策,激励并规范员工的行为,从而实现员工目标与组织目标。员工激励管理是企业人力资源管理的核心内容。本文讨论了M公司中销售岗位的员工激励管理现状。M公司成立于上个世纪90现代,主要从事进出口贸易活动,产品覆盖了食品、美容产品等。M公司通过将其产品销售给周边东南亚国家或新加坡本地代理商和经销商获利。随着经济快速发展和国际宏观环境的变化,新加坡进出口贸易行业的竞争日趋激烈。作