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针对真空蒸发制备铝膜进行了详细地介绍,主要包括了真空的获得、真空的测量以及蒸发制备铝的的原理和主要事项进行了深入地探讨,改进工作对真空系统的理解和掌握有着指导意义.
真空蒸发镀膜
【摘 要】
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针对真空蒸发制备铝膜进行了详细地介绍,主要包括了真空的获得、真空的测量以及蒸发制备铝的的原理和主要事项进行了深入地探讨,改进工作对真空系统的理解和掌握有着指导意义
【机 构】
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河北师范大学物理科学与信息工程学院,河北省新型薄膜材料重点实验室
【出 处】
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物理实验
【发表日期】
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2017年05期
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