谐振膜压力敏感元件的频率特性

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本文讨论了用于谐振压力传感器的谐振膜的频率特性。文中导出了谐振膜的非线性运动微分方程式(式中含有弯曲应力、中面张力和浅壳的影响),并用变分法求得近似解。求得的理论压力-频率特性与实验结果有较好的符合。
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