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硬件木马给集成电路芯片可靠性带来巨大威胁。为此，基于隐马尔可夫模型，提出一种新的木马检测方法。提取母本电路数据的特征参数，并对该参数进行训练得到正常模型，提取待测数据的特征参数，并计算该参数与上述模型的匹配程度，以进行分析识别。实验结果表明，该方法能对木马进行有效识别，且能检测出面积比为0．53％的硬件木马。