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复合钝化工艺在大功率晶体管上的应用
复合钝化工艺在大功率晶体管上的应用
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xixiangreng
【摘 要】
:
<正> 近十年来,国内几家生产大功率晶体管的大型企业在大规模引进的前提下才使电泳玻璃钝化工艺在大功率晶体管上投产。这对中、小型企业来说是可望而不可及的。为使本厂产品
【作 者】
:
李少华
【机 构】
:
衡阳晶体管厂421007
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
1991年4期
【关键词】
:
功率晶体管
晶体管
纯化工艺
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<正> 近十年来,国内几家生产大功率晶体管的大型企业在大规模引进的前提下才使电泳玻璃钝化工艺在大功率晶体管上投产。这对中、小型企业来说是可望而不可及的。为使本厂产品的质量得以改善,我们在近半年试制过程中,成功地将电泳玻璃钝化与聚酰亚胺表面钝化(以下
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