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用一种聚合物材料薄膜作为掩膜,通过在电化学腐蚀过程中控制腐蚀电流和时间,首次制备出了氧化多孔硅波导定向耦合器.实验中用波长为980nm的激光作为信号光源,观测到了样品的耦合光信号.给出了耦合器耦合系数不确定的因素,同时也分析了多孔硅波导传输损耗形成的原因.
用电化学腐蚀法制备氧化多孔硅波导定向耦合器
【摘 要】
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用一种聚合物材料薄膜作为掩膜,通过在电化学腐蚀过程中控制腐蚀电流和时间,首次制备出了氧化多孔硅波导定向耦合器.实验中用波长为980nm的激光作为信号光源,观测到了样品的
【机 构】
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新疆大学信息科学与工程学院
【出 处】
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激光杂志
【发表日期】
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2005年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金，中国科学院'西部之光'人才培养计划，新疆高等学校优秀青年学者奖励项目
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