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无阀微泵经常被使用是为了直接控制微泵的流量，它避免了阀片的不稳定性引起的微泵失效。本文叙述了以聚合物PMMA为材料来制作微流体器件微泵，给出微流体制作工艺的几种方法并从中选出适合于PMMA微泵制作方法，进行无阀微泵制作与测试，最后对用PMMA材料制作的微泵进行了流量和背压的测试。
基于PMMA的微泵研制
【摘 要】
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无阀微泵经常被使用是为了直接控制微泵的流量，它避免了阀片的不稳定性引起的微泵失效。本文叙述了以聚合物PMMA为材料来制作微流体器件微泵，给出微流体制作工艺的几种方法并从
【机 构】
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黑龙江科技大学,黑龙江 哈尔滨,150027
【出 处】
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科技展望
【发表日期】
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2014年14期
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