一种用于RF MEMS移相器及开关可变电容的复合微桥膜结构

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wenxiuyang521

【摘要】

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提出了一种基于微机械工艺的新型复合微桥膜结构,由低应力SiN/SiO2 (0.5μm/50nm)及Cr/Au(30nm/1μm)构成.相应的工艺流程较为简单.对影响其特性的因素进行了理论分析,并提出

【作者】

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缪旻肖志勇武国英金玉丰郝一龙

【机构】

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北京大学微电子学研究院

【出处】

：

微纳电子技术

【发表日期】

：

2003年7期

【关键词】

：

微电子机械系统射频MEMS 移相器开关可变电容复合微桥膜微桥结构 RFmicrowaveMEMScomposite beammicro bridges

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提出了一种基于微机械工艺的新型复合微桥膜结构,由低应力SiN/SiO2 (0.5μm/50nm)及Cr/Au(30nm/1μm)构成.相应的工艺流程较为简单.对影响其特性的因素进行了理论分析,并提出了3种桥膜的平面结构;利用静电/力耦合有限元法分析了各种结构的静电驱动特性以及各阶模态,结果得到了令人满意的驱动和机械性能;通过有限元高频仿真软件对桥膜结构与共面波导形成的可调电容结构进行了分析,结果表明其具有良好的射频/微波性能.该桥膜结构适用于RF MEMS开关、移相器及开关式可调电容和滤波器等.

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