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期刊论文
声表面波加速度计中压膜阻尼技术的研究
声表面波加速度计中压膜阻尼技术的研究
来源 :传感器技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:changtongct
【摘 要】
:
分析论证了压膜阻尼应用于声表面波加速度计的可行性.利用机电模拟方法,建立完整的声表面波加速度计等效电路模型.通过对该模型进行计算机仿真分析,总结出各种压膜阻尼参数影
【作 者】
:
熊曣
陈明
郭琳
赵博辉
【机 构】
:
西北工业大学
【出 处】
:
传感器技术
【发表日期】
:
2004年10期
【关键词】
:
声表面波
加速度计
等效电路模型
性能
模拟方法
机电
设计
压膜阻尼
SAW(surface acoustic wave) accelerometer
sq
【基金项目】
:
航空基金
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分析论证了压膜阻尼应用于声表面波加速度计的可行性.利用机电模拟方法,建立完整的声表面波加速度计等效电路模型.通过对该模型进行计算机仿真分析,总结出各种压膜阻尼参数影响声表面波加速度计性能的规律,从而为声表面波加速度计的设计提供重要的理论依据.
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