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多弧离子沉积(Ti,Al)N薄膜的制备工艺
多弧离子沉积(Ti,Al)N薄膜的制备工艺
来源 :兵器材料科学与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:a348956376
【摘 要】
:
介绍了采用多弧离子镀的方法在新型热作模具钢表面沉积(Ti,Al)N薄膜的制备工艺,讨论了工艺参数对(Ti,Al)N薄膜性能的影响。对Ti/Al机械复合靶进行了结构设计,得出靶的名义Al含量与沉积的(Ti,Al)N薄膜的Al含量相符
【作 者】
:
吴一平
乔学亮
【机 构】
:
华中理工大学
【出 处】
:
兵器材料科学与工程
【发表日期】
:
1995年5期
【关键词】
:
薄膜
多弧离子镀
金属
表面处理
Ti
Al)N film
multi-arc ion plating
mechanic compounc target
sol
【基金项目】
:
国家教委博士点基金重点
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介绍了采用多弧离子镀的方法在新型热作模具钢表面沉积(Ti,Al)N薄膜的制备工艺,讨论了工艺参数对(Ti,Al)N薄膜性能的影响。对Ti/Al机械复合靶进行了结构设计,得出靶的名义Al含量与沉积的(Ti,Al)N薄膜的Al含量相符合。
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