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建立以二极管泵浦的Nd：YAG连续固体激光器为基础的微结构加工平台。激光器谐振腔输出基横模，输出波长1064nm，采用调Q技术压缩脉宽，激光器输出峰值功率大于10w，可选择连续及脉冲工作方式。
激光微加工技术在ICF中的应用
【摘 要】
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建立以二极管泵浦的Nd：YAG连续固体激光器为基础的微结构加工平台。激光器谐振腔输出基横模，输出波长1064nm，采用调Q技术压缩脉宽，激光器输出峰值功率大于10w，可选择连续及脉冲工
【出 处】
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中国工程物理研究院科技年报
【发表日期】
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2004年1期
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