偏振态脉冲激光辐射的微孔加工

来源 :光电子·激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:long200466
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文中讨论了偏振态脉冲激光辐射微孔加工的一些实验。首次发现了偏振态激光打孔具有的独特优势—良好圆度、边缘光洁整体和较高的重复性;分析了其原因,同时对偏振态脉冲激光辐射影响微孔质量(孔形、孔深、锥度、入口孔径、出口孔径)的一些因素,如泵浦能量、光阑的选择及其大小,光学系统的焦距等也作了较为详细的研究和测试,得到了具有参考价值的结果 In this paper, some experiments of micropore processing of polarized pulsed laser radiation are discussed. It is the first time to find out the unique advantages of polarization state laser drilling, such as good circularity, smooth edges and high repeatability. The reasons for this are analyzed. At the same time, the influence of polarization pulsed laser irradiation on the micropore quality (hole shape, hole depth, Taper, entrance aperture, exit aperture), such as the pump energy, the choice and size of the aperture, the focal length of the optical system are also made a more detailed study and testing, have been of reference value of the results
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