【摘 要】
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<正> 目前干式光刻技术已取得了许多重要成果,但是唯独显影还停留在湿法阶段,仍是一道必不可少的关键工序。由于显影液对光刻胶薄膜的溶胀作用,胶膜图形总会有所畸变,胶膜致
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<正> 目前干式光刻技术已取得了许多重要成果,但是唯独显影还停留在湿法阶段,仍是一道必不可少的关键工序。由于显影液对光刻胶薄膜的溶胀作用,胶膜图形总会有所畸变,胶膜致密性总会有所降低。线条愈细,负胶还会使线条出现一种类似向外抽筋的现象,正胶还会使线条断裂。这些对于光刻分辨率和针孔密度都是特别有害的,显影时留下的一层不易发觉的残膜,更会招致严重的恶果。
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