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综述了近年来低能核物理所开展ＭｅＶ高能离子注入Ｓｉ的研究概况。研究工作包括深注入掩埋层物理特性分析，新型增强退火研究，二次缺陷的抑制与消除，离子束缺陷工程新原理、新方法的建立和应用，注入杂质的叠加分布与计算等。
MeV高能离子注入Si的研究
【摘 要】
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综述了近年来低能核物理所开展ＭｅＶ高能离子注入Ｓｉ的研究概况。研究工作包括深注入掩埋层物理特性分析，新型增强退火研究，二次缺陷的抑制与消除，离子束缺陷工程新原理、新方法的建立和
【机 构】
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北京师范大学低能核物理所,北京市辐射中心
【出 处】
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原子核物理评论
【发表日期】
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1997年3期
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