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太阳能作为可再生的清洁能源,已成为最具发展潜力的能源领域之一^而太阳能电池技术作为高效的太阳能储能利用方式,也经历了飞速的更新换代。对于普遍采用的晶硅电池技术而言,目前最便捷的技术升级方案就是PERC,即发射极及背面钝化电池技术。相较于普通电池,PERC电池增加了背钝化、激光开槽等工序,可使光电转换效率更高,从而也对生产工艺和制造过程提出了更高的技术要求。