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Ti离子注入硅化物已能得到特性优良的硅化物薄层,采用了深度分辨率高的掠角背散射和沟道技术发现注入层是3层结构,表面~120nm为合成的连续硅化钛多晶薄层,在该层中晶格无程度达到40%~50%,中间层厚度约为200nm的高密度的晶格损伤区,晶格损伤率在硅与硅钛界面处最高,其值可达到77%,并且随深度的增加而下降;第3层则是低密度晶格损伤层,束流密度的变化对晶格损伤率有一定的影响。