RF MEMS电感的研究与进展

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无线通信的迅速发展,对高性能电感有迫切的需要.本文介绍了目前电感的发展状况,包括表面螺旋电感、垂直平面螺旋电感、悬浮螺旋电感和螺线管电感.对各种电感的性能进行了比较,讨论了电感设计所需考虑的问题及相关因素,对各种电感的加工工艺作了介绍.总结了各种电感的品种因数.
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