【摘 要】
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对InAs衬底上液相外延生长四元系InAs_(1-x-y)P_xSb_y(x=0.2,y=0.09)材料进行了研究,此材料适合于2.5μm中红外波段的光源及光探测器应用。实验发现InAsPSb/InAs外延片的表面
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所
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对InAs衬底上液相外延生长四元系InAs_(1-x-y)P_xSb_y(x=0.2,y=0.09)材料进行了研究,此材料适合于2.5μm中红外波段的光源及光探测器应用。实验发现InAsPSb/InAs外延片的表面形貌与晶体失配之间有确定的关系,据此可以方便地调节溶体组份以生长高质量的异质结构。对其机理进行了探讨,已生长了InAsPSb pn结并获得满意的载流子剖面分布。
The quaternary InAs_ (1-x-y) P_xSb_y (x = 0.2, y = 0.09) material was epitaxially grown on the InAs substrate. The material is suitable for the application of light sources and photodetectors in the mid-infrared region of 2.5μm. It has been found that there is a definite relationship between the surface morphology of the InAsPSb / InAs epitaxial wafer and the crystal mismatch, whereby the solution components can be easily adjusted to grow high quality heterostructures. The mechanism is discussed, the InAsPSb pn junction has been grown and a satisfactory carrier profile distribution has been obtained.
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