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综述了非晶／微晶相变区硅基薄膜的微观结构、光电特性及其在太阳能电池中的应用进展．稳定优质的宽带隙初始晶硅薄膜处于非晶／微晶相变区的非晶硅一侧，其相比于非晶硅具有更高的中程有序性和更低的光致衰退特性．低缺陷密度的窄带隙纳米晶硅薄膜处于非晶／微晶相变区的微晶硅一侧，有效钝化的纳米硅晶粒具有较高的载流子迁移率和较好的长波响应特性．基于上述相变区硅薄膜材料的叠层电池已经达到13．6％的稳定转换效率．掺锗制备的硅锗薄膜可进一步降低薄膜的带隙宽度，引入相变区硅锗合金薄膜后，三结叠层电池初始效率已经达到16．3％，四结