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多层金属化系统中蓄水池效应对电迁移寿命的影响
多层金属化系统中蓄水池效应对电迁移寿命的影响
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wlm7411814
【摘 要】
:
在W通孔的多层金属化系统中,金属离子的蓄水池效应对其电迁移寿命的影响很大,文中设计制作了12种不同的蓄水池结构,并进行了电迁移实验.着重考察蓄水池面积、通孔位置、通孔
【作 者】
:
郭春生
李秀宇
李志国
吴月花
【机 构】
:
北京工业大学电子信息与控制工程学院
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
2007年z1期
【关键词】
:
互连线
蓄水池效应
电迁移
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在W通孔的多层金属化系统中,金属离子的蓄水池效应对其电迁移寿命的影响很大,文中设计制作了12种不同的蓄水池结构,并进行了电迁移实验.着重考察蓄水池面积、通孔位置、通孔数目对互连线电迁移寿命的影响,得出蓄水池的面积是影响电迁移寿命的主要因素.
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