【摘 要】
：
不同化学机械抛光剂使单层大马士革Cu导线表面起伏程度不同.扫描电镜观察到明显的缺陷出现在大起伏的Cu导线表面.这种表面缺陷导致早期失效比率剧增至几乎100%,电迁移寿命猛
【机 构】
：
上海交通大学微电子学院,中国科学院半导体研究所,IMEC,E. E. Department
论文部分内容阅读
不同化学机械抛光剂使单层大马士革Cu导线表面起伏程度不同.扫描电镜观察到明显的缺陷出现在大起伏的Cu导线表面.这种表面缺陷导致早期失效比率剧增至几乎100%,电迁移寿命猛降至早期失效的量级,失效时间分布从多模变为单模.其相应的失效机制激活能为0.74±0.02eV,说明失效主要是由Cu原子沿导线表面扩散引起的.最弱链接近似被用来分析单根Cu导线:Cu导线被适当均分为若干相互串联、失效机制不同的Cu块,任何一个Cu块的失效都会使整根Cu导线失效.分析结果表明,虽然表面缺陷不是最快的失效机制,但大起伏Cu导线的表面缺陷密度是另一种的10倍以上,这是其早期失效比率高和可靠性较低的主要原因.
其他文献
目的 探讨磁共振FLAIR序列和DTI在急性期脑弥漫性轴索损伤(DAI)中的诊断价值及DAI病灶平均ADC值及FA值变化.方法 回顾性分析23例经临床确诊的DAI患者的影像学资料,所有患者及
目的 评价针刺分离联合结膜下注射干扰素α-2b治疗青光眼小梁切除术后早期功能不良性滤过泡的有效性和安全性.方法 对23例(27只眼)小梁切除术后早期发生的功能不良性滤过泡行
目的 探讨MRI和1H-MRS在诊断职业锰暴露致中枢神经系统损伤中的应用价值.方法 选择18例无症状锰暴露工人(锰暴露组)、12例慢性轻度锰中毒工人(锰中毒组)和19名健康工人(对照
目的 了解ALT正常的慢性HBV感染者的肝脏病理学改变及其影响因素.方法 观察632例ALT正常的慢性HBV感染者,采用超声定位穿刺取肝组织,行HE染色、纤维Masson染色,HBsAg和HBcAg
阀门调控系统应用越来越广泛,限于电话线路的局限性和数传电台的专业性,大多数阀门调控系统采用有线调控方式,而非远程调控方式.应用无线GPRS通信手段的数字控制方式,减少传
泄殖腔是胚胎的消化、生殖和泌尿系统在发育早期阶段形成的特殊结构。胚胎8周后,这些内脏系统将完成其结构分化。泄殖腔保留(persistent cloaca,PC)是胎儿发育中后期泄殖腔持
液泡是植物细胞贮藏苹果酸重要的细胞器.苹果酸是三羧酸酸循环和乙醛酸循环的中介,是维持细胞渗透压与电荷平衡的关键代谢物,还参与调节植物气孔大小,故苹果酸在植物的生命活
生物酶制剂无毒、无味、无嗅,添加到成分复杂的原料乳中不会引起不必要的化学变化,不损害乳品的质量,而且对底物有严格的专一性,催化效率高、用量少.综述了在生产过程中乳酸
目的 观察胸腔灌注奈达铂(NDP)与顺铂(DDP)治疗非小细胞肺癌(NSCLC)恶性胸腔积液的疗效、患者的牛活质量及毒副反应.方法 68例确诊为NSCLC(湿性Ⅲb期)的患者,经胸腔置管引流
研究了Ag-AAO纳米有序阵列复合结构的等离子共振吸收特性。结果显示,Ag表面等离子共振吸收峰位于λ=352~377 nm范围内,且可通过控制Ag纳米粒子的长径比使其吸收特性发生改变