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本文采用光刻工艺制备了铁电阴极电极,设计并搭建了测试平台。在此基础上,对铁电材料做了电子发射性能试验,对发射电流进行测试,改变实验参数以观测其对发射电流的影响,并对实验结果进行分析。
铁电阴极电子发射性能的探究
【摘 要】
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本文采用光刻工艺制备了铁电阴极电极,设计并搭建了测试平台。在此基础上,对铁电材料做了电子发射性能试验,对发射电流进行测试,改变实验参数以观测其对发射电流的影响,并对
【机 构】
：
福建工程学院软件学院
【出 处】
：
电子制作
【发表日期】
：
2014年2X期
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