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用非平衡热力学耦合模型首次获得了由ＣＨ４／ＣＯ２体系化学气相淀积金刚石的相图。该相图与用经典平衡热力学得 结果不同，相图中出现了１个金刚石的生长区，相图中的金刚石生长区是实现金刚石气相生长的热力学基础，它的存在体现了超平衡氢原子等激活粒子对石墨的激活和对金刚石的稳定作用。
CH4／CO2体系化学气相淀积金刚石的非平衡定态相图计算
【摘 要】
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用非平衡热力学耦合模型首次获得了由ＣＨ４／ＣＯ２体系化学气相淀积金刚石的相图。该相图与用经典平衡热力学得 结果不同，相图中出现了１个金刚石的生长区，相图中的金刚石生长区是实现金刚石
【机 构】
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复旦大学电子工程系
【出 处】
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复旦学报(自然科学版)
【发表日期】
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1999年4期
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